“超越摩尔”为中国智造贡献力量

沈湫莎

2017年10月15日07:24  来源:文汇报
 
原标题:“超越摩尔”为中国智造贡献力量

戴上发帽、口罩、手套,拉上连体服的拉链,想走进8英寸“超越摩尔”研发中试线,这些行头一个都不能少。本月底,这条生产线上就要交付第一批产品温度传感器,这些天来,上海微技术工业研究院MEMS技术工程总监徐元俊每天都要穿戴得如同一只“白企鹅”,在生产线上奋战。

“党的十九大即将胜利召开。我国首条、全球领先的8英寸‘超越摩尔’研发中试线开通,正是五年来我国科技界砥砺奋进的又一新成就。”徐元俊一边说,一边为刚刚跑完一道工序的8英寸晶圆做起了“体检”,应力、原子力、电阻……高精密生产不能容忍一丝纰漏,一片晶圆上有9000多个温度传感器,因此对硅材料的纯净度、厚度的均匀性都有极高要求。

当集成电路产业正在以摩尔定律追求不断缩小工艺尺寸时,上海微技术工业研究院选择了另外一条路,在传感器等其他新兴技术领域实现“弯道超车”。作为国内第一批参与国产可量产消费类传感器陀螺仪制作的人,2014年,徐元俊接到工研院的邀请,来做一个传感器对外服务平台。

对于这些年科研环境的变化,徐元俊感触颇深:“党的十八大以来,习近平总书记高度重视科技创新,这让我们基层科技工作者更加坚定了科研工作的信念,我也明显感觉到企业创新的步伐在不断加快。”

到2020年,上海将培育形成约30家研发与转化功能型平台,工研院正是第一个启动的平台,这条8英寸“超越摩尔”生产线正是平台的“镇台之宝”。

短短三年,徐元俊亲眼看着这里的变化———从一片空地到跑着8英寸硅片的生产线;人才从四面八方聚集而来。每天走进生产车间,他都有一种与时间赛跑的感觉———任何产业都有黄金周期,在这么好的环境下,一定要抓住这波机遇,不负祖国和人民的重托。

如今的8英寸“超越摩尔”研发中试线上灯火通明,5000平方米工作厂区活跃着许多“白企鹅”。每位员工的心中都明白,这条中试线承载着改变中国传感器依赖进口,让研究成果走出实验室、走向市场的期望。

本月底,8英寸“超越摩尔”研发中试线上生产的第一批产品温度传感器即将完成。届时,这条月产量3000片晶圆的中试线将为许多实验室传感器铺设一条走向市场的路。

想到即将胜利召开的党的十九大,想到顺利实现两个一百年奋斗目标的未来,徐元俊充满期待、意气风发,“有了国家的快速发展,个人价值才能更好地实现,我们要努力把工研院打造成国际上叫得响的传感器公共服务平台,为中国智造贡献自己的力量。”

(责编:宋心蕊、赵光霞)

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