“超越摩爾”為中國智造貢獻力量

戴上發帽、口罩、手套，拉上連體服的拉鏈，想走進8英寸“超越摩爾”研發中試線，這些行頭一個都不能少。本月底，這條生產線上就要交付第一批產品溫度傳感器，這些天來，上海微技術工業研究院MEMS技術工程總監徐元俊每天都要穿戴得如同一隻“白企鵝”，在生產線上奮戰。

“黨的十九大即將勝利召開。我國首條、全球領先的8英寸‘超越摩爾’研發中試線開通，正是五年來我國科技界砥礪奮進的又一新成就。”徐元俊一邊說，一邊為剛剛跑完一道工序的8英寸晶圓做起了“體檢”，應力、原子力、電阻……高精密生產不能容忍一絲紕漏，一片晶圓上有9000多個溫度傳感器，因此對硅材料的純淨度、厚度的均勻性都有極高要求。

當集成電路產業正在以摩爾定律追求不斷縮小工藝尺寸時，上海微技術工業研究院選擇了另外一條路，在傳感器等其他新興技術領域實現“彎道超車”。作為國內第一批參與國產可量產消費類傳感器陀螺儀制作的人，2014年，徐元俊接到工研院的邀請，來做一個傳感器對外服務平台。

對於這些年科研環境的變化，徐元俊感觸頗深：“黨的十八大以來，習近平總書記高度重視科技創新，這讓我們基層科技工作者更加堅定了科研工作的信念，我也明顯感覺到企業創新的步伐在不斷加快。”

到2020年，上海將培育形成約30家研發與轉化功能型平台，工研院正是第一個啟動的平台，這條8英寸“超越摩爾”生產線正是平台的“鎮台之寶”。

短短三年，徐元俊親眼看著這裡的變化———從一片空地到跑著8英寸硅片的生產線﹔人才從四面八方聚集而來。每天走進生產車間，他都有一種與時間賽跑的感覺———任何產業都有黃金周期，在這麼好的環境下，一定要抓住這波機遇，不負祖國和人民的重托。

如今的8英寸“超越摩爾”研發中試線上燈火通明，5000平方米工作廠區活躍著許多“白企鵝”。每位員工的心中都明白，這條中試線承載著改變中國傳感器依賴進口，讓研究成果走出實驗室、走向市場的期望。

本月底，8英寸“超越摩爾”研發中試線上生產的第一批產品溫度傳感器即將完成。屆時，這條月產量3000片晶圓的中試線將為許多實驗室傳感器鋪設一條走向市場的路。

想到即將勝利召開的黨的十九大，想到順利實現兩個一百年奮斗目標的未來，徐元俊充滿期待、意氣風發，“有了國家的快速發展，個人價值才能更好地實現，我們要努力把工研院打造成國際上叫得響的傳感器公共服務平台，為中國智造貢獻自己的力量。”